等离子设备主要适用于各种材料的表面改性处理:表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积。
1.表面改性:纸张粘合,塑料粘接、金属锡焊、电镀前的表面处理。
2.表面活化:生物材料的表面修饰,印刷涂布或粘接前的表面处理,如纺织品的表面处理。
3.表面刻蚀:硅的微细加工,玻璃等太阳能领域的表面刻蚀处理,医疗器皿表面刻蚀处理。
4.表面沉积:疏水性或亲水性层的等离子体聚合沉积。
广泛应用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域,是企业、科研院所进行等离子体表面处理的理想设备。
等离子设备的清洗特点:
(1)在经过等离子清洗以后,被清洗物体已经很干燥,不必再经干燥处理即可送往下道工序。
(2)不使用有害溶剂,清洗后也不会产生有害污染物,属于有利于环保的绿色清洗方法。
(3)整个清洗工艺流程在几分钟即可完成,因此具有效率高的特点。
(4)由于不需要对清洗液进行运输、贮存、排放等处理措施,所以生产场地很容易保持清洁卫生。
(5)等离子清洗的最大技术特点是:它不分处理对象,可处理不同的基材,无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料都可用等离子体很好地处理,因此,特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。