Bruker Dektak Pro布鲁克台阶仪
Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4Å重复性的表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。Dektak Pro在表面测量方面设立了新的目标，是微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。
Dektak Pro产品参数
| 测量技术 | 探针轮廓测量（接触测量） |
| 测量功能 | 二维表面轮廓测量；可选三维测量 |
| 样品视野 | 可选放大倍率， 0.275到2.2 mm |
探针传感器 | 低惯量传感器（LIS 3） |
探针压力 | 1到15 mg，使用LIS 3传感器 |
低作用力 | N-Lite+ 精微力传感器，0.03到15 mg（可选） |
探针选项 | 探针半径选项从50 nm到25 μm； 高径比（HAR）针尖200 μm x 20 μm； 可根据客户要求提供定制针尖 |
样品台 XY载物台 | 手动100 mm（4"），手动调平； 电动150 mm（6"），手动调平； 带编码器电动200 mm（8"），手动调平 |
样品旋转台 | 手动或自动，连续360° |
减震装置 | 减震装置可用（选配） |
扫描长度范围 | 55 mm（2"）；200 mm（8"）具备扫描拼接能力 |
每次扫描数据点 | 可达120,000个数据点 |
样品厚度可达 | 50 mm (1.95") |
晶圆尺寸可达 | 200 mm (8") |
台阶高度重复性 | 4 Å, 1 sigma （ ≤1 μm 标准台阶样品) |
垂直范围 | 1 mm (0.039") |
垂直分辨率 | 1 Å (@ 6.55 μm 范围) |
输入电压 | 100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz |
温度范围 | 工作范围20到 25°C (68 到 77ºF) |
湿度范围 | ≤80%, 无冷凝 |
系统尺寸与重量 | 尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H（17.9" W x 22.6" D x 14.5" H）； 重量：34 kg（75 lb）； 外壳尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H（21.6" L x 23" W x 17.5" H）； 外壳重量：5.0 kg（11 lb） |
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