|Diener 常压等离子表面处理设备 PlasmaBeam Mini-上海尔迪仪器科技有限公司
Diener等离子表面处理设备
德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用技术的2.45GHz的等离子清洗机。
目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的产品,以保证性能技术稳定。
Diener PlasmaBeam mini
1. 外尺寸: B 350 mm, H 166 mm, T 300 mm, 重量. 10 kg
2. 喷头直径. φ25 mm, L 150 mm, 重量. 0.5 kg, 线缆 1.5 m
3. 发生器:2,45 GHz/8 W
4. 反应气体:单路Ar
5. 电源:单相100~240V,1.5A
上海尔迪仪器科技有限公司是diener中国代理!有需要可以联系我公司。
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